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微細加工された垂直構造物に基づくバルク波共振器
专利权人:
サントル ナスィオナル ド ラ ルシェルシュ スィアンティフィク(セ.エン.エル.エス.);ユニヴェルシテ・ドゥ・フランシュ・コンテ;エコール・ナショナル・スーペリウール・ドゥ・メカニーク・エ・デ・ミクロテクニーク
发明人:
シルヴェン・バランドラ,グウェン・ウリアック,ブランディーヌ・エドゥアール−ギー・シャルダ,トマ・バロン,ジャン−イヴ・ロシュ
申请号:
JP20140533917
公开号:
JP6129187(B2)
申请日:
2012.10.05
申请国别(地区):
日本
年份:
2017
代理人:
摘要:
A bulk wave piezoelectric resonator operating at a predetermined frequency includes a substrate block, having a plane face, a first thickness and consisting of a first material, a resonant plate having a length, width and second thickness, and consisting of a second piezoelectric material, first and second metal electrodes at least partly covering the resonant plate on each side and partly facing each other. The resonant plate is fixed perpendicularly in the vicinity of the plane face of the substrate block so that the width of the resonant plate and the first thickness of the substrate block have the same direction, and the first material, the second material, the first thickness of the block of substrate, the length, the width, the second thickness of the resonant plate are configured for trapping bulk waves at the operating frequency of the resonator and for producing a plane-plane type bulk wave piezoelectric resonator.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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