METHOD FOR MANUFACTURING MEMS PRESSURE SENSOR OF CAPACITIVE TYPE FOR MEASURING PULSE

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专利权人:

发明人:

백창욱,김준구,김재욱,전영주,김종열,이시우

申请号：

KR1020120048591

公开号：

KR1014778590000B1

申请日:

2012.05.08

申请国别(地区):

KR

年份:

2014

代理人:

摘要：

A method of manufacturing a capacitive MEMS pressure sensor for a pulse generator is disclosed. The capacitance type MEMS pressure sensor for pulse wave according to the present embodiment is capable of pulsation by measuring the pressure pulse wave directly in contact with the skin of the human body, and durability is improved.맥진용 정전용량형 MEMS 압력 센서의 제조 방법이 개시된다. 본 실시예에 따른 맥진용 정전용량형 MEMS 압력 센서는 인체의 피부에 직접적으로 접촉하여 압맥파를 측정함으로써 맥진이 가능하며, 내구성이 향상된다.

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/