Provided are an apparatus and a method for cleaning, disinfecting, and/or sterilizing a device. More specifically, a first processing chamber internally performs a first processing stage at a first pressure, a first temperature, and a first sterilant concentration. A first passageway may be operatively connected to the first processing chamber, and a second processing chamber may be operatively connected to the first passageway and in connection with the first chamber through the first passageway. A second chamber may be configured to internally perform a second processing stage at a second pressure, a second temperature, and a second sterilant concentration. An object may be processed in the first processing chamber and moved through the first passage to the second processing chamber to be processed in the second processing chamber.디바이스를 세정, 소독, 및/또는 살균하기 위한 장치 및 방법이 제공된다. 보다 구체적으로, 제1 처리 챔버가 제1 압력, 제1 온도, 및 제1 멸균제 농도에서 제1 처리 스테이지를 내부에서 수행하도록 구성될 수 있다. 제1 통로가 제1 처리 챔버에 작동식으로 연결될 수 있고, 제2 처리 챔버가 제1 통로에 작동식으로 연결되고 제1 통로를 통해 제1 챔버와 연통할 수 있다. 제2 챔버는 제2 압력, 제2 온도, 및 제2 멸균제 농도에서 제2 처리 스테이지를 내부에서 수행하도록 구성될 수 있다. 물체가 제1 처리 챔버 내에서 처리되고 제1 통로를 통해 제2 처리 챔버로 이동되어 제2 처리 챔버 내에서 처리될 수 있다.