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一种线阵ZnO纳米线异质结LED生物传感器及制备方法
- 专利权人:
- 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
- 发明人:
- 郭振,黎海文,吴一辉
- 申请号：
- CN201410001333.6
- 公开号：
- CN103760336B
- 申请日:
- 2014.01.02
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2016
- 代理人:
- 余成俊
- 摘要：
- 本发明公开了一种线阵ZnO纳米线异质结LED生物传感器及制备方法，生物传感器基于蓝宝石衬底上外延p型GaN层，GaN层上制备阵列化n型ZnO纳米线，阵列化纳米线间隙采用PMMA或者parylene材料填充，阵列化纳米线顶部沉积有ITO低阻导电薄膜，在ITO低阻导电薄膜表面修饰有蛋白质及固定有抗体,ITO低阻导电薄膜表面制备有In金属引出电极，以Ni/Au合金作为p型GaN层电极。本发明呈现了半导体ZnO纳米线阵列异质结LED的光学性质实现生物传感的新颖技术，同时本发明传感器制备方法利用电子束直写(EBL)刻蚀和选择性外延生长的方法制备线阵ZnO纳米线异质结LED，也可利用纳米压印的方法替代电子束光刻实现批量化生产，结合磁分离技术可实现生物分子的无标、快速、高灵敏度检测的目的。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
