活性气体喷射装置
- 专利权人:
- 积水化学工业株式会社
- 发明人:
- 长原悠,泷川喜重,大下贵也,上原刚
- 申请号：
- CN201880016412.0
- 公开号：
- CN110382045A
- 申请日:
- 2018.31.08
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供一种容易且可靠地以无色活性气体喷射被喷射物的活性气体喷射装置。活性气体喷射装置(100),其具备等离子体发生部(12),喷嘴(1),其喷出由所述等离子体发生部(12)发生的等离子体活化了的活性气体,以及光源部(50),其朝向所述喷嘴前端的前方的任意位置发出光。所述活性气体喷射装置优选进一步具备控制部,所述控制部使所述等离子发生部的等离子体发生和所述光源部的发光同步。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
