COENEN, Toon;FOM INSTITUTE FOR ATOMIC AND MOLECULAR PHYSICS (AMOLF);DIONNE, Jennifer A.;BRENNY, Benjamin;ATRE, Ashwin C.;POLMAN, Albert;BOARD OF TRUSTEES OF THE LELAND STANFORD JUNIOR UNIVERSITY
发明人:
ATRE, Ashwin C.,DIONNE, Jennifer A.,BRENNY, Benjamin,COENEN, Toon,POLMAN, Albert
申请号：
USUS2015/027125
公开号：
WO2016/007208A9
申请日:
2015.04.22
申请国别(地区):
US
年份:
2016
代理人:
摘要：
In one aspect, a cathodoluminescence (CL) spectroscopic tomography device includes a sample stage to support a sample. An electron beam source scans an electron beam over the sample to yield light emission by the sample. A reflective element directs the light emission by the sample to a light detector. A controller controls operation of the sample stage, the electron beam source, and the light detector. In one aspect, a CL spectroscopic tomography device includes an electron beam source which directs an electron beam at an object to yield an emission by the object. A detector detects the emission. A controller receives information from the detector related to the detected emission. The controller derives a two-dimensional (2D) CL map from the information related to the detected emission, and derives a three-dimensional (3D) CL tomogram from the 2D CL map.Selon un aspect, un dispositif de tomographie par spectroscopie de cathodoluminescence (CL) comprend un étage d'échantillon conçu pour porter un échantillon. Une source de faisceau d'électrons balaye l'échantillon avec un faisceau d'électrons afin de provoquer une émission de lumière par l'échantillon. Un élément réfléchissant dirige vers un détecteur de lumière l'émission de lumière produite par l'échantillon. Un contrôleur commande le fonctionnement de l'étage d'échantillon, de la source de faisceau d'électrons, et du détecteur de lumière. Selon un aspect, un dispositif de tomographie par spectroscopie CL comprend une source de faisceau d'électrons qui dirige un faisceau d'électrons sur un objet afin de provoquer une émission par cet objet. Un détecteur détecte l'émission. Un contrôleur reçoit des informations provenant du détecteur et relatives à l'émission détectée. Le contrôleur déduit des informations relatives à l'émission détectée une carte CL bidimensionnelle (2D), et il déduit de la carte CL 2D un tomogramme CL tridimensionnel (3D).
