FELTS, John T.,FISK, Thomas E.,ABRAMS, Robert S.,FERGUSON, John,FREEDMAN, Jonathon R.,PANGBORN, Robert J.,SAGONA, Peter J.,WEIKART, Christopher
申请号：
USUS2013/040368
公开号：
WO2013/170044A1
申请日:
2013.05.09
申请国别(地区):
WO
年份:
2013
代理人:
摘要：
A method for inspecting the product of a coating process is provided. In certain embodiments, the release of at least one volatile species from the coated surface into the gas space adjacent to the coated surface is measured and the result is compared with the result for at least one reference object measured under the same test conditions. Microbalance weighing methods are also disclosed to detect and distinguish among PECVD coatings. Thus the presence or absence of the coating, and/or a physical and/or chemical property of the coating can be determined. The method is useful for inspecting any coated articles, e.g. vessels. Its application on the inspection of PECVD coatings made from organosilicon precursors, especially of barrier coatings, is also disclosed.La présente invention concerne un procédé pour inspecter le produit dun processus de revêtement. Dans certains modes de réalisation, la libération dau moins une espèce volatile depuis la surface revêtue dans lespace gazeux adjacent à la surface revêtue est mesurée et le résultat est comparé au résultat pour au moins un objet de référence mesuré dans les mêmes conditions de test. Des procédés de pesée à la microbalance sont également décrits pour détecter et distinguer entre les revêtements de PECVD. Par conséquent, la présence ou labsence du revêtement, et/ou une propriété physique et/ou chimique du revêtement peut être déterminée. Le procédé est utile pour inspecter des articles revêtus, par exemple des récipients. La présente invention concerne en outre son application à linspection de revêtements PECVD fabriqués à partir de précurseurs dorganosilicium, en particulier de revêtements de barrière.
