Vorrichtung zum Sterilisieren von Behältnissen (10) mit einer Ladungsträgererzeugungseinrichtung (2), mit einer Beschleunigungseinrichtung (4), welche die erzeugten Ladungsträger innerhalb einer Kammer (8) beschleunigt, und mit einem Austrittselement (6), über welches die Ladungsträger aus der Kammer (8) austreten, wobei die Vorrichtung eine Überwachungseinrichtung zum Überwachen eines Betriebs der Vorrichtung (1a, 1b) aufweist. Erfindungsgemäß weist die Überwachungseinrichtung (20) eine Bildaufnahmeeinrichtung (22) auf, welche derart angeordnet ist, dass sie ein Bild von einem Austrittsbereich (A) aufnimmt, in dem die Ladungsträger aus der Kammer (8) austreten.The device (1a) has a charge carrier generating unit (2) for generating charge carriers i.e. electrons, and an acceleration device (4) for accelerating the generated charger carriers within an enclosed chamber (8), where the charge carriers emerges from the chamber through an exit element (6) i.e. exit window. A control device monitors an operation of the device. The control device comprises an image pickup device (22) i.e. camera, which is arranged such that the image pickup device receives an image of an exit region (A) in which the charge carrier emerges from the chamber. An independent claim is also included for a method for sterilizing containers.
