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COMPENSATION OPTICAL APPARATUS AND IMAGE SENSING APPARATUS
专利权人:
发明人:
申请号:
EP11703490.0
公开号:
EP2528491A1
申请日:
2011.01.14
申请国别(地区):
EP
年份:
2012
代理人:
摘要:
A compensation optical apparatus for obtaining an image of an object without reduction in image quality irrespective of aberration compensation, includes: a division unit (106) for dividing a return beam from a measured object an aberration measurement unit (115) for measuring an aberration caused by the measured object, with a divided beam from the division unit an aberration compensation unit for (108) performing aberration compensation based on the aberration measured by the aberration measurement unit a projection unit (110) for projecting a beam obtained by the aberration compensation in the aberration compensation unit to the measured object (111) an acquirement unit (114) for acquiring a value exhibiting a state of the measured object based on the return beam from the measured object, which is obtained by the beam projected from the projection unit and a control unit (118) for retreating the division unit from an optical path based on the value acquired by the acquirement unit.Linvention porte sur un appareil optique à compensation servant à obtenir une image dun objet sans réduction de qualité dimage indépendamment dune compensation daberration, qui comprend : une unité de division (106) pour diviser un faisceau de retour provenant dun objet mesuré une unité de mesure daberration (115) pour mesurer une aberration causée par lobjet mesuré, à laide dun faisceau divisé provenant de lunité de division une unité de compensation daberration (108) pour réaliser une compensation daberration sur la base de laberration mesurée par lunité de mesure daberration une unité de projection (110) pour projeter un faisceau obtenu par la compensation daberration dans lunité de compensation daberration sur lobjet mesuré (111) une unité dacquisition (114) pour acquérir une valeur représentant un état de lobjet mesuré sur la base du faisceau de retour provenant de lobjet mesuré, qui est obtenu par le faisceau projeté par lunité de projection et une unité de commande (118) pou
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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