超声波传感器机组及超声波探测器
- 专利权人:
- 株式会社意捷莫斯尔
- 发明人:
- 李昇穆
- 申请号：
- CN201180020031.8
- 公开号：
- CN102884814A
- 申请日:
- 2011.02.28
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2013
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供了一种超声波传感器机组及超声波探测器。该超声波传感器机组具有多个超声波传感器１０。该超声波传感器１０，具有在绝缘性基板２的上面形成的凹槽部２２；在该凹槽部２２的底部被埋设的基板电极３；设置为以覆盖该凹槽部２２的振动膜１。该超声波传感器机组及超声波探测器不仅省略了形成待除层的工序，还省略了开孔的工序及省略了化费工时的蚀刻该待除层的蚀刻工序，另外还提高了再现性和可靠性，且能以简化了的工序，制造超声波传感器机组及超声波探测器。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
