用于激光加工系统间距测量的装置和方法及激光加工系统
- 专利权人:
- 普雷茨特两合公司
- 发明人:
- R·莫泽,M·舍恩莱贝尔
- 申请号：
- CN201880090132.4
- 公开号：
- CN111818963A
- 申请日:
- 2018.12.21
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明涉及一种用于给激光加工系统(100)进行间距测量的装置(500)。装置(500)包括配置成产生用于导引到工件(1)上的初级射束的光源(510)、配置成检测从工件(1)反射的次级射束的至少一个探测装置(520)、配置成放大初级射束和/或次级射束的至少一个光学放大器(530)、和配置成评估在频域中的频谱分量的干涉的评估单元。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
