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一种基于图像处理的晶圆检测装置
- 专利权人:
- 湖北器长光电股份有限公司
- 发明人:
- 刘学峰,吴秋野
- 申请号：
- CN201621125418.6
- 公开号：
- CN206095985U
- 申请日:
- 2016.10.12
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 黄君军
- 摘要：
- 本实用新型涉及一种基于图像处理的晶圆检测装置，包括计算机、固定装置、COMS相机、设置于COMS相机上的显微筒镜、光源、三维平台、电机控制机箱以及设置到显微筒镜底部的显微物镜，COMS相机位于显微筒镜的顶端，且COMS相机和显微筒镜连接并固定在固定装置上且位于固定装置的一侧，光源位于显微筒镜的一侧且接入显微筒镜，且光源与COMS相机相连接，三维平台位于显微筒镜的下侧，且显微物镜与三维平台的载物台正对，COMS相机与计算机相连接，电机控制机箱分别与三维平台和计算机相连接，所述固定装置包括龙门架和面包板。本实用新型具有系统简单，容易操作的优势，相较于一般的图像拼接技术具有拼接精度高的优势。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
