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ＣＯ２リサイクル付洗浄装置及びその稼動方法
- 专利权人:
- 株式会社ユーテック
- 发明人:
- 氏家 敦,本多 祐二,三上 由佳利
- 申请号：
- JP20170511419
- 公开号：
- JPWO2016163004(A1)
- 申请日:
- 2015.04.09
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】ＣＯ２使用量を低減できるＣＯ２リサイクル付洗浄装置を提供する。【解決手段】本発明の一態様は、チャンバー（２７ａ）と、前記チャンバー（２７ａ）内にＣＯ２を供給する第１の液化ＣＯ２ボンベ（５１）と、前記チャンバー（２７ａ）内の前記ＣＯ２を排出する排出機構（２３ａ）と、前記排出機構（２３ａ）によって排出された前記ＣＯ２を液化する液化機構（７３−７４）と、前記液化機構（７３−７４）によって液化されたＣＯ２を収容する第２の液化ＣＯ２ボンベ（５２）と、を具備し、前記第２の液化ＣＯ２ボンベ（５２）に収容されたＣＯ２は前記チャンバー（２７ａ）内に供給され、前記第１の液化ＣＯ２ボンベ（５１）または前記第２の液化ＣＯ２ボンベ（５２）から前記チャンバー（２７ａ）内に供給されるＣＯ２によっ
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
