Time-of-flight charged particle spectroscopy
- 专利权人:
- FEI Company
- 发明人:
- Luiten Otger Jan,Mutsaers Petrus Henricus Antonius,van Rens Jasper Frans Mathijs,Verhoeven Wouter,Kieft Erik René
- 申请号：
- US201615364145
- 公开号：
- US9984852(B1)
- 申请日:
- 2016.11.29
- 申请国别(地区):
- 美国
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- Scheinberg & Associates, PC `Scheinberg Michael O.
- 摘要：
- An apparatus for performing charged particle spectroscopy, comprising:
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
