(57)< Abstract > This invention, regards the ion source device and the ion acceleration system and the ion beam scan system which possesses with the ion beam guidance system which has the mechanical alignment system for the ion beam discharge window for the convergence centralized ion beam and target cubic measure which is scanned. From this purpose, it can configurate to the ion acceleration which is necessary in order to obtain the highest transmitted depth the ion acceleration system. This scan system furthermore is laid out in path of the ion beam with target cubic measure and the ion beam discharge window, possesses the energy absorption means which cross the center of the ion beam. As for these energy absorption means, in order to change the energy of the ion beam, crossing the center of the ion beam, because it is movement possible, the depth adjustment of the ion beam becomes possible in target cubic measure, this is achieved by with the linear motor and the intersection movement of energy absorption means, depth difference scan of the cubic measure element of target cubic measure continues quickly and is done. This invention furthermore regards the manner which manipulates the manner of ion beam scan and the ion beam scan system which uses the gantry system.本発明は、イオン源装置と、イオン加速システムと、収束集中イオンビームのためのイオンビーム放出ウィンドウ及び走査される標的体積のための機械的なアラインメントシステムを備えるイオンビーム誘導システムとを有するイオンビーム走査システムに関する。この目的から、イオン加速システムは、最高の透過深度を得るために必要なイオン加速に設定できる。この走査システムは更に、標的体積とイオンビーム放出ウィンドウとの間のイオンビームの経路に配置され、イオンビームの中心を横断するエネルギー吸収手段を有する。このエネルギー吸収手段は、イオンビームのエネルギーを変化させるために、イオンビームの中心を横断して移動可能であるため、標的体積において、イオンビームの深度調節が可能となり、これはリニアモータとエネルギー吸収手段の横断移動とにより達成され、標的体積の体積要素の深度差走査が迅速に連続して行われる。本発明は更に、イオンビーム走査の方法と、ガントリシステムを使用するイオンビーム走査システムを操作する方法に関する。
