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等离子体处理设备
- 专利权人:
- 奇诺格有限责任公司
- 发明人:
- D·万德克,M·哈恩尔,K-O·施托克,L·特鲁特威格,M·里克
- 申请号：
- CN201880037158.2
- 公开号：
- CN111096081A
- 申请日:
- 2018.05.07
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明涉及一种等离子体处理,其用于实施介电阻挡等离子体放电的设备,所述等离子体处理设备包括一具有处理侧(5)的电极单元(1)和一供给单元(10),电极单元(1)能够与所述供给单元机械连接并且电接触,以便被供给用于产生等离子体所需的供给电压,其中,电极单元(1)具有电极组件,所述电极组件至少朝所述处理侧(5)通过面状的电介质(2)屏蔽,能够通过如下方式使用具有同一个供给单元(10)的不同的电极单元(1):电极单元(1)具有编码,并且供给单元(10)具有用于所述编码的识别装置,并且所述识别装置与控制装置连接,所述控制装置根据识别出的编码来控制用于产生等离子体的供给电压。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
