NEIKIRK, Colin C.;SIVARAMAKRISHNAN, Visweswaren;NARWANKAR, Pravin K.;FRANKEL, Jonathan;GANGAKHEDKAR, Kaushal;ISHIKAWA, David Masayuki;YUDOVSKY, Joseph;APPLIED MATERIALS, INC.;TRUONG, Quoc
发明人:
NEIKIRK, Colin C.,NARWANKAR, Pravin K.,GANGAKHEDKAR, Kaushal,SIVARAMAKRISHNAN, Visweswaren,FRANKEL, Jonathan,ISHIKAWA, David Masayuki,TRUONG, Quoc,YUDOVSKY, Joseph
申请号：
USUS2019/036721
公开号：
WO2019/241351A1
申请日:
2019.06.12
申请国别(地区):
US
年份:
2019
代理人:
摘要：
A reactor for coating particles includes one or more motors, a rotary vacuum chamber configured to hold particles to be coated, wherein the rotary vacuum chamber is coupled to the motors to rotate the rotary vacuum chamber in a first direction about an axial axis of a cylindrical portion of the rotary vacuum chamber, a vacuum port to exhaust gas from the rotary vacuum chamber, a paddle assembly including a rotatable drive shaft extending through the rotary vacuum chamber and coupled to the one or more motors and at least one paddle extending radially from the drive shaft, such that rotation of the drive shaft by the motors orbits the paddle about the drive shaft in a second direction, and a chemical delivery system including a gas outlet on the paddle configured inject process gas into the particles.La présente invention concerne un réacteur pour revêtir des particules comprend au moins un moteur, une chambre à vide rotative conçue pour contenir des particules à revêtir, la chambre à vide rotative étant couplée aux moteurs pour faire tourner la chambre à vide rotative dans une première direction autour d'un axe axial d'une partie cylindrique de la chambre à vide rotative, un orifice à vide pour évacuer le gaz de la chambre à vide rotative, un ensemble de palettes comprenant un arbre d'entraînement rotatif s'étendant à travers la chambre à vide rotative et couplé audit au moins un moteur et au moins une palette s'étendant radialement à partir de l'arbre d'entraînement, de telle sorte que la rotation de l'arbre d'entraînement par les moteurs fasse tourner la palette autour de l'arbre d'entraînement dans une seconde direction et un système de distribution de produit chimique comprenant une sortie de gaz sur la palette conçue pour injecter le gaz de traitement dans les particules.
