从已使用研磨浆中回收有用成分的回收装置
- 专利权人:
- 联合科技株式会社
- 发明人:
- 保木口洋平,森永义备,冈笃,都筑悠介,小出晃子
- 申请号：
- CN201120054049.7
- 公开号：
- CN202106307U
- 申请日:
- 2011.03.03
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2012
- 代理人:
- 陈英俊
- 摘要：
- 本实用新型提供一种从已使用研磨浆中回收有用成分的回收装置，从硅晶片加工工序中排出的已使用研磨浆中，经由初级离心分离机以及次级离心分离机能够短时间内有效地回收有用成分的回收装置。其结构是，对于以相对低的离心力运转的一台离心分离机并联连接多台以相对高的离心力运转的次级离心分离机，将由该一台初级离心分离机处理并分离的液态成分分配给该多台次级离心分离机进行处理。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
