新型生产半导体用纳米级熔融硅微粉的研磨系统
- 专利权人:
- 新沂市宏润石英硅微粉有限公司
- 发明人:
- 陈立艳
- 申请号:
- CN201420072948.3
- 公开号:
- CN203816711U
- 申请日:
- 2014.02.20
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2014
- 代理人:
- 摘要:
- 本实用新型公开了一种新型生产半导体用纳米级熔融硅微粉的研磨系统,该系统属于熔融硅微粉生产领域,包括动力控制装置、动力装置、无级调速器、立式螺旋搅拌球磨机、收料器,其中动力控制装置和动力装置连接,动力装置和无级调速器连接;无级调速器和立式螺旋搅拌球磨机连接,立式螺旋搅拌球磨机和收料器连接,动力控制装置和动力装置间的连接装置为第一动力电路,动力装置和无级调速器间的连接装置为第一传动轴,无级调速器和立式螺旋搅拌球磨机间的连接装置为第二传动轴,立式螺旋搅拌球磨机上设有熔融石英沙进口,立式螺旋搅拌球磨机和收料器间的连接装置为引风机,收料器上设有纳米级熔融硅微粉出口。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心