具有可转动支承在把手壳体中的滚筒的等离子体处理设备
- 专利权人:
- 奇诺格有限责任公司
- 发明人:
- L·特鲁特威格,K-O·施托克,D·万德克,M·科普,G·达施莱恩
- 申请号：
- CN201480003473.5
- 公开号：
- CN104871650A
- 申请日:
- 2014.01.02
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 摘要：
- 一种等离子体处理设备，其用于利用一电介质阻挡式等离子体场处理一表面，等离子体场在一被供给高压的电极(16)与所述表面之间产生，其中，所述电极(16)与一围住电极(16)的电介质(17)构成一可转动地支承在一把手壳体(1)中的滚筒(6)，滚筒能够在所述表面上滚动，等离子体处理设备具有扩宽的处理场并通过如下方式允许了所述表面的受限定的且受控制的等离子体处理，即，滚筒(6)构造得能够柔性地适配所述表面的不平整性并具有一滚动表面，该滚动表面具有凸起(19、19')，构成等离子体场的空隙(20)处在这些凸起之间。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
