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광결합 간섭 측정 장치를 이용하여 레이저 장치의 펄스 에너지를 보정하는 방법
专利权人:
发明人:
리델 페터,도니츠키 크리스토프
申请号:
KR1020117007315
公开号:
KR1013312510000B1
申请日:
2008.08.29
申请国别(地区):
KR
年份:
2013
代理人:
摘要:
In a method for calibrating the pulse energy of a laser device (110) that provides pulsed working laser radiation, the working laser radiation is used to perform a plurality of test ablations, in particular multiple-pulse test ablations, on one or a plurality of test objects (180) with a different pulse energy in each case. The ablation depth of each of the test ablations is measured and an associated desired pulse energy is subsequently determined on the basis of the measured ablation depths and a predefined desired ablation depth and is set on the laser device. According to the invention, the ablation depths are measured by means of a coherence-optical interferometric measuring apparatus (130). The invention furthermore relates to a laser device in particular for carrying out the above method.펄스형 작동 레이저 방사를 제공하는 레이저 장치의 펄스 에너지를 보정하는 방법에 있어서, 하나 이상의 시험 대상물 상에서 다수의 시험 절제, 특히 다수의 펄스 시험 절제를 작동 레이저 방사에 의해서 각기 다른 펄스 에너지로 실행한다. 각 시험 절제들의 절제 깊이를 측정하고, 이어서 측정된 절제 깊이와 특정된 설정점 절제 깊이에 근거해서 관련된 설정점 펄스 에너지를 결정해서 레이저 장치에 설정한다. 본 발명에 따르면, 절제 깊이는 광결합 간섭 측정 장치로 측정한다. 본 발명은 레이저 장치, 특히 상기 방법을 실행하는 레이저 장치에도 관한 것이다.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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