A sterilant vaporizer relating to an embodiment of the present invention comprises a body comprising at least two first cavities and a first channel connecting the first cavities； a cover having an inlet where a sterilant flows in, and mechanically combined with the body； and a heater heating the body to vaporize the sterilant flowing in through the inlet.본 발명의 일 실시예와 관련된 멸균제 기화 장치는 적어도 2개 이상의 제 1 홈(cavity) 및, 제 1 홈들을 서로 연결하는 제 1 채널이 구비된 본체와, 멸균제가 유입되는 유입구가 구비되고, 본체와 기계적으로 결합되는 커버 및 본체를 가열하여 유입구를 통해 유입된 멸균제를 기화시키는 히터를 포함한다.
