网格状MEMS神经微探针及其制备方法
- 专利权人:
- 东南大学
- 发明人:
- 杨波,王行军,殷勇
- 申请号：
- CN201410523275.3
- 公开号：
- CN104257352A
- 申请日:
- 2014.10.08
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 摘要：
- 一种网格状MEMS神经微探针及其制备方法，包括基座、针头和针杆；针头通过针杆连接到基座上形成微探针；针头、针杆和基座内部均有硅层和绝缘层；硅层设置在绝缘层的下方；针头的表面上设置有若干个探测电极；基座表面上设置有若干个凹槽；微探针内部还包括若干条引出线，引出线贯穿于微探针内部；一条引出线的一端连接一个探测电极，该条引出线的另一端与一个凹槽形成一个外接引出焊盘；引出线在针头、针杆和基座内的绝缘层中；针杆上设置有若干个呈网络状分布的通孔；本发明具有结构强度高、生物兼容性好、探测信号密度大、可靠性高的特点。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
