超声波振子元件及超声波内窥镜
- 专利权人:
- 奥林巴斯株式会社
- 发明人:
- 松本一哉,若琳胜裕
- 申请号：
- CN201380057959.2
- 公开号：
- CN104823462B
- 申请日:
- 2013.10.25
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 超声波振子元件(20)具备由基板(11)和由多个单元(10)构成的单元群(10Z),所述多个单元(10)分别具有配设在基板(11)之上的下部电极(12)和包括隔着腔体(14H)而与下部电极(12)对置配置的上部电极(16)的膜片(18)、以及通过支承膜片(18)而形成腔体(14H)的多个柱(14),多个单元(10)各自的腔体(14H)相互连通。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
