Problem to be solved: to use a scintillator array having a high light output with a high residual light and having a high light resolution and having a high resolution, and having no harmful substance such as cadmium, and a radiation detector and radiation inspection apparatus using the same, and the aforementioned Problem to be solved: to provide a method of manufacturing a scintillator array.A plurality of scintillator elements each having a thickness of 1.0 mm or less, a width of 1.0 mm or less, and a depth of 2.5 mm or less, which are made of a polycrystalline material of a garnet structure oxide, are integrated with a reflection layer having a thickness of 80. Mu. M or less, and the average crystal grain size of the polycrystalline material is 2. Mu. M or more. A scintillator array characterized by less than 50. Mu. M and a small variation, a radiation detector and a radiation inspection apparatus using the same, and a method of manufacturing the scintillator array.Diagram【課題】希土類オキシ硫化物セラミックスよりも短残光で高い光出力を有しそのばらつきが少なく、高精細な解像度を有し、かつカドミウムような有害物質を含まないシンチレータアレイ、並びにそれを用いた放射線検出器並びに放射線検査装置、および前記シンチレータアレイの製造方法を提供する。【解決手段】ガーネット構造酸化物の多結晶体からなる縦1.0mm以下×横1.0mm以下×深さ2.5mm以下の複数のシンチレータ素子を厚さが80μm以下の反射層を介して一体化したシンチレータアレイであり、多結晶体の平均結晶粒径が2μm以上50μm以下であり、ばらつきが小さいことを特徴とするシンチレータアレイ、並びにそれを用いた放射線検出器並びに放射線検査装置、および前記シンチレータアレイの製造方法。【選択図】図1
