To provide an ozone generator capable of reducing degradation of an electrode due to ozone generated with an excimer lamp.SOLUTION: An ozone generator including: an excimer lamp having an arc tube in which an emission gas is encapsulated and electrodes provided on outer periphery surfaces of both end parts in a tube axis direction of the arc tube； and a protective part provided so as to cover the electrode.SELECTED DRAWING: Figure 1【課題】 エキシマランプを用いて発生させたオゾンによる電極の劣化を低減させることができるオゾン発生装置を提供すること。【解決手段】 発光ガスが封入された発光管と発光管の管軸方向両端部の外周面に設けられた電極とを有するエキシマランプと、前記電極を覆うよう設けられた保護部とを備えるオゾン発生装置。【選択図】 図１
