The present invention provides a technique capable of performing a precise nondestructive inspection on a moving subject. The radiation source 1 emits radiation towards the gratings G0 to G2. Each of the gratings G 0 to G 2 includes a plurality of grating members. The radiation detector 3 detects radiation diffracted by the plurality of grating members. The plurality of grating members are arranged such that the Moire pattern images respectively formed by the radiation passing through the first to third partial regions 71 to 73 have phase differences between moir pattern images, As shown in FIG.本発明は、移動する被検体に対して精密な非破壊検査を行うことができる技術を提供するものである。放射線源1は、格子G0~G2に向けて放射線を放射する。各格子G0~G2は、複数の格子部材を備える。放射線検出器3は、複数の格子部材で回折された放射線を検出する。複数の格子部材は、第1~第3の部分領域71~73を通過した放射線によってそれぞれ形成されるモアレ模様画像が、モアレ模様画像相互の間での位相差を持つように、既定の位相差を持って配置されている。
