一种采用硅扭簧的微推力测量装置
- 专利权人:
- 北京工业大学
- 发明人:
- 刘本东,李心蕊,杨旭,贤光,郭宇,杨佳慧
- 申请号：
- CN201810654290.X
- 公开号：
- CN108827512A
- 申请日:
- 2018.06.22
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 刘萍
- 摘要：
- 本发明是一种采用硅扭簧的微推力测量装置，具体为一种通过硅的微加工工艺制作的硅扭簧，利用硅扭簧和光路将微推进器的微推力位移进行放大，从而实现对微小推力的高灵敏度测量。微推力测量装置能够对微推进器的推力性能进行直接的测量和评估，在微推进器的研发和评估中起着重要的作用。此外，在一些新兴领域包括空间卫星控制技术、生物力学、微型机器人以及仿生学等也对微牛级、纳牛级以及更小力的推力测量技术有着越来越高的要求，本发明属于航空、航天、微力测量、微推进技术和微机械领域。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
