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一种用稻壳制备电子级球形硅微粉的方法
- 专利权人:
- 华南理工大学
- 发明人:
- 王卫星
- 申请号:
- CN200610123588.5
- 公开号:
- CN100506694C
- 申请日:
- 2006.11.16
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2009
- 代理人:
- 李卫东
- 摘要:
- 本发明公开了一种用稻壳制备电子级球形硅微粉的方法,包括如下步骤,前处理:稻壳干燥后粉碎成20目以下的稻壳粉,将100质量份的稻壳粉加入400质量份浓度为5~25%的氧化性酸性水溶液中,在80~300℃温度条件下刻蚀30~200分钟,水洗后干燥;热分解:在氧气或空气氛围下,在600~1000℃温度条件下,热解30~300分钟;后处理:在反应釜中,加入0.01~5质量份的结构控制剂后在60~300℃的温度下处理30~300分钟,水洗干燥后制备电子级球形硅微粉。该方法能生产纯度达99.999%、无放射性元素、粒径可控的电子级球形硅微粉,而且本发明的方法具有工艺简单、成本低、原料来源广、可再生的优点。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址:
- http://www.ckcest.cn/home/