PROBLEM TO BE SOLVED: To increase a transport efficiency by raising a charge conversion efficiency regardless of the kind of ions.SOLUTION: An ion beam incidence device according to an embodiment hereof comprises: an RFQ 3 which is a preceding stage linear accelerator operable to accelerate an ion beam 19 led out from an ion source 1； at least one DTL 4a, 4b, 4c, which is a subsequent stage linear accelerator operable to further accelerate the ion beam 19 accelerated by the preceding stage linear accelerator 3； a beam transporting part 16 operable to transport the ion beam 19 from the RFQ 3 to the at least one DTL 4a, 4b, 4c of the subsequent stage； and a charge conversion part operable to convert an ion valence. In the beam transporting part 16, a plurality of setting locations 5a to 5d where the charge conversion part can be set are provided； the charge conversion part is set at a location of the plurality of setting locations 5a to 5d, corresponding to the kind of ions.SELECTED DRAWING: Figure 2COPYRIGHT: (C)2019,JPO&INPIT【課題】イオンの種類に関わらず荷電変換効率を高くすることで、輸送効率を向上させる。【解決手段】本実施形態のイオン入射装置は、イオン源１からの引き出されたイオンビーム１９を加速する前段線形加速器であるＲＦＱ３と、前段線形加速器３により加速されたイオンビーム１９をさらに加速する少なくとも一つの後段線形加速器であるＤＴＬ４ａ，４ｂ，４ｃと、ＲＦＱ３からＤＴＬ４ａ，４ｂ，４ｃの後段までイオンビーム１９を輸送するビーム輸送部１６と、イオンの価数を変換する荷電変換部と、を備え、ビーム輸送部１６において荷電変換部を設置可能な設置位置５ａ～５ｄを複数設け、荷電変換部を複数の設置位置５ａ～５ｄのうちイオンの種類に対応した位置に設置した。【選択図】図２
