一种二氧化钛薄膜及其制备方法和应用
- 专利权人:
- 中国科学院上海硅酸盐研究所
- 发明人:
- 吕林,谢有桃,李恺,曹韫真,郑学斌
- 申请号：
- CN201610826139.0
- 公开号：
- CN107815665A
- 申请日:
- 2016.09.14
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明涉及一种二氧化钛薄膜及其制备方法和应用,是利用原子层沉积技术,采用含钛前驱体和含氧前驱体分别作为钛源和氧源,在基材表面沉积得到的二氧化钛薄膜后进行紫外照射后得到,所述二氧化钛薄膜为多晶二氧化钛薄膜,晶相为纯锐钛矿相。本发明采用原子层沉积技术制备锐钛矿型二氧化钛薄膜,具有优良的生物相容性,经过紫外光辐照后可获得优良的抗菌性能。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
