PROBLEM TO BE SOLVED: To manufacture a detection coil with a low surface resistance in a magnetic field in a method for manufacturing a detection coil for magnetic resonance measurement made of a superconducting material, and to facilitate processing on the shape of the detection coil.SOLUTION: A superconducting thin film layer 14 is formed on a substrate 12, and is processed into the shape of a detection coil for magnetic resonance measurement, whereby a superconducting thin film layer 18 in the shape of a detection coil is formed. The superconducting thin film layer 18 is thereafter irradiated with ions so that a lattice defect is formed as a pinning in the superconducting thin film layer 18.SELECTED DRAWING: Figure 2【課題】超伝導体からなる磁気共鳴測定用検出コイルの製造方法において、磁場中の表面抵抗が低い検出コイルを製造するとともに、検出コイルの形状への加工を容易にする。【解決手段】基板１２上に超伝導薄膜層１４を形成し、超伝導薄膜層１４を磁気共鳴測定用の検出コイルの形状に加工する。これにより、検出コイルの形状を有する超伝導薄膜層１８が形成される。形状加工後の超伝導薄膜層１８に対してイオンを照射する。これにより、超伝導薄膜層１８内にピン止めとしての格子欠陥が形成される。【選択図】図２
