一种半导体无尘室
- 专利权人:
- 长兴云腾新能源科技有限公司
- 发明人:
- 童华宁,陈中凯
- 申请号：
- CN201810635074.0
- 公开号：
- CN108756317A
- 申请日:
- 2018.06.20
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 董芙蓉
- 摘要：
- 本发明涉及半导体加工设备的技术领域，尤其是一种半导体无尘室，其具有立柱组成的框体结构，所述的框体结构的两侧均采用防静电围帘密封设置，所述的框体结构的正面一侧垂直设置若干垂帘；所述的框体结构正面垂帘一侧设置玻璃门；所述的框体结构的背部设置背板组件，所述的框体结构的上端设置顶板，所述的顶板上固定设置若干排风机。该半导体无尘室，结构简单，可以满足半导体的平稳加工，投入成本低，可以提高半导体加工的效率，提高经济效益，便于广泛推广使用。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
