PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cartridge reducing possibility that a chemical liquid leaks from the cartridge storing the chemical liquid.SOLUTION: This cartridge storing the chemical liquid includes: a first container a second container provided inside the first container and storing the chemical liquid and an exhaust path exhausting a gas generated by the chemical liquid stored in the second container between the first container and the second container.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】薬液が格納されたカートリッジから薬液が漏れる可能性を低減するカートリッジを提供すること。【解決手段】 薬液が格納されるカートリッジであって、第1の容器と、前記第1の容器内に設けられた、前記薬液が格納される第2の容器と、前記第1の容器と前記第2の容器との間に、前記第2の容器に格納される薬液により生じる気体を排気する排気路と、を備えることを特徴とする。【選択図】 図4
