The microfabrication type capacitive ultrasonic transducer includes an anchor And a membrane coupled to the anchor, wherein the anchor may include at least one anchor groove.According to the manufacturing method of the microfabrication capacitive ultrasonic transducer, the probe and the probe, the contact area between the cMUT and the lens can be increased. Therefore, it is possible to improve the interfacial force between the cMUT and the lens while protecting the membrane of the cMUT. Further, the peeling phenomenon of the lens can be prevented, and the durability of the transducer can be improved.미세가공 정전용량형 초음파 트랜스듀서는, 앵커(anchor) 및 상기 앵커와 결합되는 멤브레인(membrane)을 포함하고, 상기 앵커는, 적어도 하나의 앵커홈을 포함할 수 있다. 이와 같은 미세가공 정전용량형 초음파 트랜스듀서, 프로브 및 프로브의 제조방법에 의하면, cMUT과 렌즈(lens)의 접촉면적을 증대시킬수 있다. 따라서, cMUT의 멤브레인(membrane)을 보호하면서cMUT과 렌즈(Lens)의 계면력을 향상시킬 수 있다. 또한, 렌즈의 박리현상을 방지하고, 트랜스듀서의 내구성을 향상시킬 수 있다.
