PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus and method of manufacturing a mist formation filter, for manufacturing the mist formation filter in which a plurality of fine through-holes are formed in a synthetic resin sheet, and to provide the mist formation filter.SOLUTION: An apparatus 10 of manufacturing a mist formation filter includes a receiving base 11 and a back sheet 12 held on the receiving base 11, having heat resistance, and supporting a synthetic resin-made substrate sheet 20. A nano-imprint mold 30 having a plurality of projecting parts 31 at a lower part is formed above the back sheet 12. The nano-imprint mold 30 is movable in the vertical direction, and the substrate sheet 20 and the back sheet 12 are thereby pressed between the receiving base 11 and the nano-imprint mold 30 to form the mist formation filter 40 in which many fine through-holes 41 are formed in the substrate sheet 20.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】合成樹脂のシートに複数の微細貫通孔を形成してなるミスト形成用フィルタを製造するためのミスト形成用フィルタの製造装置、ミスト形成用フィルタの製造方法およびミスト形成用フィルタを提供する。【解決手段】ミスト形成用フィルタの製造装置10は、受台11と、受台11上に保持され、耐熱性を有するとともに合成樹脂製の基材シート20を支持するバックシート12とを備えている。バックシート12上方に、下方部に複数の突状部31を有するナノインプリント成形型30が配置されている。ナノインプリント成形型30は、上下方向に移動可能となり、これにより基材シート20とバックシート12を受台11とナノインプリント成形型30がとの間で押圧して、基材シート20に多数の微細貫通孔41が形成されたミスト形成用フィルタ40が作製される。【選択図】図1
