观察装置
- 专利权人:
- 浜松光子学株式会社
- 发明人:
- 黄洪欣,井上卓
- 申请号:
- CN200980105377.0
- 公开号:
- CN101946202B
- 申请日:
- 2009.01.13
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2012
- 代理人:
- 摘要:
- 观察装置(1)具备光源部(10)、二轴扫描系统(20)、波阵面调制部(30)、光分支部(40)、光检测部(50)、波阵面检测部(60)以及控制部(70)等。波阵面调制部(30)呈现补偿输入光的像差的补偿用相位图形,并且呈现将输入光分支成第一及第二光的分支用相位图形。波阵面检测部(60)接收所输入的光,检测该光的波阵面。在包括由波阵面检测部(60)对光的波阵面变形的检测、基于该检测结果由控制部(70)对相位图形的调整、由波阵面调制部(30)对相位图形的呈现在内的循环处理中,用于进行波阵面像差补偿的补偿用相位图形被反馈控制。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心
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