观察装置

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专利权人:

浜松光子学株式会社

发明人:

黄洪欣,井上卓

申请号：

CN200980105377.0

公开号：

CN101946202B

申请日:

2009.01.13

申请国别(地区):

CN

年份:

2012

代理人:

摘要：

观察装置(1)具备光源部(10)、二轴扫描系统(20)、波阵面调制部(30)、光分支部(40)、光检测部(50)、波阵面检测部(60)以及控制部(70)等。波阵面调制部(30)呈现补偿输入光的像差的补偿用相位图形，并且呈现将输入光分支成第一及第二光的分支用相位图形。波阵面检测部(60)接收所输入的光，检测该光的波阵面。在包括由波阵面检测部(60)对光的波阵面变形的检测、基于该检测结果由控制部(70)对相位图形的调整、由波阵面调制部(30)对相位图形的呈现在内的循环处理中，用于进行波阵面像差补偿的补偿用相位图形被反馈控制。

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/