Es ist eine Anordnung (1) und ein Verfahren zur Behandlung von mindestens einem Objekt (8) offenbart. Hierzu ist eine lonisationskammer/Plasmakammer (4) vorgesehen, die über eine Hochspannungsleitung (3) mit der Hochspannungsquelle (2) verbunden ist. Eine erste Ventilgruppe (11) besitzt einen Knoten (16) und eine zweite Ventilgruppe (12) besitzt einen Knoten (17), wobei zwischen der ersten Ventilgruppe (11) und der zweiten Ventilgruppe (12) eine Pumpe (14) vorgesehen ist. Eine Behandlungskammer (6) ist fluide mit der ersten Ventilgruppe (11) und der zweiten Ventilgruppe (12) und die Ionisationskammer/Plasmakammer (4) ist ebenfalls fluide mit der ersten Ventilgruppe (11) und der zweiten Ventilgruppe (12) verbindbar.An arrangement (1) and a method for treating at least one object (8) is disclosed. For this purpose, an ionization chamber / plasma chamber (4) is provided, which is connected to the high-voltage source (2) via a high-voltage line (3). A first valve group (11) has a node (16) and a second valve group (12) has a node (17), a pump (14) being provided between the first valve group (11) and the second valve group (12). A treatment chamber (6) can be fluidly connected to the first valve group (11) and the second valve group (12) and the ionization chamber / plasma chamber (4) can also be fluidly connected to the first valve group (11) and the second valve group (12).