PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a tube joint device capable of preventing problems such as a time-out error and poor jointing from being caused because a used cut member is left in the device.SOLUTION: A tube joint device 1 includes an attitude maintenance part 604 that prevents the occurrence of toppling and the like of a used wafer WF2 by maintaining an attitude of the used wafer WF2 used for blowout.COPYRIGHT: (C)2015,JPO&INPIT【課題】使用済みの切断部材が装置に残置されていることに起因するタイムアウトエラーや接合不良などの問題が発生することを未然に防止し得るチューブ接合装置を提供する。【解決手段】チューブ接合装置1は、溶断に使用された使用済みのウェハーWF2の姿勢を保持することにより当該使用済みのウェハーWF2に倒れ込み等が生じることを防止する姿勢保持部604を有している。【選択図】図21
