PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method for a metal structure that enables precise manufacturing by suppressing occurrence of uneven element size due to uneven thickness of an adhesive and its bending, in manufacturing a metal structure on a substrate made of a material with a small X-ray absorption amount.SOLUTION: A manufacturing method for a metal structure that is formed of a periodic structure in which columnar structures with an arbitrary cross section shape are arranged periodically includes: a metal substrate preparation step of preparing a first metal substrate made of a material capable of being etched a metal film forming step of forming a second metal film on the metal substrate prepared in the metal substrate preparation step a cutting processing step of cutting the second metal film formed in the previous step to form a periodic structure in which columnar structures with an arbitrary cross section shape are arranged periodically a step of fixing the periodic structure formed in the cutting processing step with a resin member a step of removing the first metal substrate by etching after fixing the periodic structure with the resin member in the step of fixing with the resin member.COPYRIGHT: (C)2014,JPO&INPIT【課題】X線の吸収量の小さい材料の基板上の金属構造体を作製するに当り、接着剤の厚みのムラや反りによる素子のサイズムラの発生を抑制し、精度良く製造が可能な金属構造体の製造方法を提供する。【解決手段】任意の断面形状を有する柱状構造が周期的に並べられた周期構造体により構成された金属構造体の製造方法であって、エッチングが可能な材料による第1の金属基板を準備する金属基板準備工程と、金属基板準備工程で準備された第1の金属基板上に、第2の金属膜を形成する金属膜形成工程と、前記工程で形成された第2の金属膜を、切削加工により任意の断面形状を有する柱状構造が周期的に並べられた周期構造体を形成する切削加工工程と、切削加工工程で形成された周期構造体を、樹脂部材で固定する工程と、樹脂部材で固定する工程で周期構造体が樹脂部材で固定された後、第1の金属基板をエッチングにより除去する工程と、を有する。【選択図】図1
