力学量センサ
- 专利权人:
- 株式会社デンソー
- 发明人:
- 竹谷 英一
- 申请号:
- JP20150216228
- 公开号:
- JP2017090069(A)
- 申请日:
- 2015.11.03
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要:
- 【課題】チップサイズの増大を抑制しつつ検出感度を向上させる力学量センサを提供する。【解決手段】板状の固定部21と、固定部21に支持され、固定部21の平面上における一方向に延設された梁部22と、固定部21の平面上における一方向に垂直な他方向において固定部21の片側に配置され、梁部22に連結されるとともに、梁部22との接続部231と梁部22とは反対側の先端部232とが他方向に延設された連結部233により連結されることで、接続部231と先端部232との間に空間が形成された第1の錘部23と、他方向において固定部21に対し第1の錘部23と反対側に配置され、梁部22に連結された第2の錘部24と、を備える。【選択図】図1
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心