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IMAGING BASED INTERFEROMETRIC PRESSURE SENSOR
专利权人:
发明人:
申请号:
EP10798380.1
公开号:
EP2493372A1
申请日:
2010.10.28
申请国别(地区):
EP
年份:
2012
代理人:
摘要:
An imaging based interferometric pressure sensor apparatus compromise a fluid pressure sensor unit (1) and an optical monitor (2). The disposable pressure sensor part comprises a rigid transparent cover plate 3 and a flexible diaphragm (4), in between forming an air-gap cavity (8). By illuminating the air-gap cavity (8) with a light source (6), the air-gap cavity generates an interference pattern which is captured by the optical imaging device (7). The pressure of the fluid (5) to be sensing is applied to flexible diaphragm, causing the deformation of the diaphragm and the variation of the air-gap thickness. Hence the interference pattern varies with pressure of fluid. The optical monitor (2) includes light source 6 and optical image device (7) which records the interference pattern from the fluid pressure sensor unit (1). The pressure of the fluid is measured by processing the captured image.Linvention porte sur un capteur de pression interférométrique fondé sur limagerie qui comprend une unité de détection de pression de fluide (1) et un dispositif de contrôle optique (2). La partie capteur de pression jetable comprend une plaque de couverture transparente et rigide (3) et une membrane souple (4), formant entre celles-ci une cavité despace dair (8). Lors de léclairage de la cavité despace dair (8) avec une source lumineuse (6), la cavité despace dair génère un motif dinterférence qui est capturé par le dispositif dimagerie optique (7). La pression du fluide (5) devant être détectée est appliquée sur la membrane souple, provoquant la déformation de la membrane et la variation de lépaisseur de lespace dair. Par conséquent, le motif dinterférence varie avec la pression du fluide. Le dispositif de contrôle optique (2) comprend une source lumineuse (6) et un dispositif dimagerie optique (7) qui enregistre le motif dinterférence à partir de lunité de détection de pression de fluide (1). La pression du fluide est mesurée par traitement de limage capturée.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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