이상구,성봉조,윤경수,김지현,LEE, SANG GUKR,SUNG, BONG JOKR,YOON, KYUNG SOOKR,KIM, JI HYUNKR
申请号：
KR1020150178435
公开号：
KR1020170070648A
申请日:
2015.12.14
申请国别(地区):
KR
年份:
2017
代理人:
摘要：
The present invention relates to an ion generating device. A method of manufacturing an ion generating device of the present invention includes: forming a pattern having an etched shape on a substrate； Depositing a seed layer on top of the patterned substrate； Forming a metal layer on the seed layer； Planarizing an upper surface of the metal layer； Removing the silicon substrate； And removing the seed layer, wherein the substrate is made of silicon having a crystal orientation of (100), and the etched shape of the substrate is formed by wet etching using potassium hydroxide (KOH).본 발명은 이온발생장치에 관한 것이다. 본 발명의 이온발생장치의 제조방법은 기판에 식각 형상이 구비된 패턴을 형성하는 단계； 상기 패턴이 형성된 기판의 상층에 시드층을 증착하는 단계； 상기 시드층의 상층에 금속층을 형성하는 단계； 상기 금속층의 상면을 평탄화하는 단계； 상기 실리콘 기판을 제거하는 단계； 및 상기 시드층을 제거하는 단계를 포함하고, 상기 기판은 결정방향이 (100)인 실리콘으로 이루어지고, 상기 기판에 구비된 식각 형상은 수산화칼륨(KOH)을 이용하여 습식 식각함으로써 형성된다.
