用于生物化学应用中极低电流测量的噪声屏蔽技术
- 专利权人:
- 吉尼亚科技公司
- 发明人:
- R·J·A·陈
- 申请号：
- CN201280069446.9
- 公开号：
- CN104160484B
- 申请日:
- 2012.12.14
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2016
- 代理人:
- 申屠伟进`陈岚
- 摘要：
- 公开了一种具有集成噪声屏蔽物的装置。装置包括基本上包围半导体装置的多个垂直屏蔽结构。装置进一步包括位于半导体装置上方基本上充满导电流体的开口，其中，多个垂直屏蔽结构和导电流体屏蔽半导体装置免受环境辐射的影响。在一些实施例中，装置进一步包含位于半导体装置下方的导电底部屏蔽物，其屏蔽半导体装置免受环境辐射的影响。在一些实施例中，开口被配置为允许将生物样本引入至半导体装置中。在一些实施例中，垂直屏蔽结构包括多个通孔，其中，多个通孔中的每个把多于一个的导电层连接在一起。在一些实施例中，装置包括纳米孔装置，并且其中，纳米孔装置包括纳米孔阵列的单一单元。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
