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Driving condition setting device and driving condition setting method for optical scanning device
专利权人:
オリンパス株式会社
发明人:
嶋本 篤義,山田 雅史,小鹿 聡一郎
申请号:
JP2017524310
公开号:
JPWO2016207970A1
申请日:
2015.06.23
申请国别(地区):
JP
年份:
2018
代理人:
摘要:
This is applied to an optical scanning device having a fiber for irradiating illumination light to an observation object and a drive mechanism for vibrating the tip of the fiber in the x and y directions, and detects the scanning trajectory of the illumination light emitted from the fiber. The resonance frequency in each of the x direction and the y direction is measured. Based on the resonance frequency, the drive frequency and the drive voltage are set as the drive conditions of the drive mechanism. The scanning locus is within a predetermined range with respect to the target amplitude. This is a drive condition setting device that determines to satisfy the equation. When fx>; fy, fd <;fy and Vx ≧ Vy (1) or fd>; fx and Vx ≦ Vy (2) When fx ≦ fy, fd <;fx and Vx ≦ Vy (3) or fd>; fy and Vx ≧ Vy (4) where fd is the drive frequency, fx is the resonance frequency in the x direction, fy is the resonance frequency in the y direction, and Vx is in the x direction. The maximum voltage for the drive signal, Vy, is the maximum voltage for the drive signal in the y direction.照明光を観察対象に照射するファイバと、ファイバの先端をx方向及びy方向に振動させる駆動機構とを有する光走査装置に適用され、ファイバから射出した照明光の走査軌跡を検出し、ファイバのx方向及びy方向における共振周波数を夫々計測し、共振周波数に基づいて駆動機構の駆動条件として駆動周波数及び駆動電圧を、走査軌跡が目標振幅に対して所定の範囲内となり、且、以下の条件式を満足するように決定する駆動条件設定装置である。 fx>fyである場合に、 fd<fyかつVx≧Vy・・・(1) または fd>fxかつVx≦Vy・・・(2) fx≦fyである場合に、 fd<fxかつVx≦Vy・・・(3) または fd>fyかつVx≧Vy・・・(4) 但し、fdは駆動周波数、fxはx方向の共振周波数、fyはy方向の共振周波数であり、Vxはx方向の駆動信号についての最大電圧、Vyはy方向の駆動信号についての最大電圧である。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/
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