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一种晶体生长表面微结构的实时观测方法
专利权人:
青岛大学
发明人:
钟德高,滕冰
申请号:
CN200910015472.3
公开号:
CN101561401A
申请日:
2009.05.23
申请国别(地区):
中国
年份:
2009
代理人:
于正河
摘要:
本发明涉及溶液法晶体生长过程表面微结构在三维方向上的实时定量测试分析技术领域,属于一种利用激光数字移相干涉系统装置实时观测水溶性晶体、有机晶体生长表面微结构的方法,引入菲索干涉仪在干涉光路中,将菲索干涉仪中的两个参考平面镜之一替换为正在生长的晶体表面,使经参考平面镜和生长晶体表面反射的激光发生干涉,使干涉条纹中包含晶体生长表面的信息,再利用移相干涉方法提取出晶体生长表面结构信息,然后通过计算机软件计算分析得到晶体生长表面的等高图和三维透视图实现实时观测,其工作原理简单可靠,所用设备自动化程度高,实时观测效果好,特别是可以将晶体生长过程全方位转换成显示信息,形象直观性强。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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