プラズマ発生装置及びこれを用いた洗浄浄化装置

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专利权人:

PANASONIC CORPORATION

发明人:

成田憲二,実松渉

申请号：

JPJP2012/064530

公开号：

WO2013/011762A1

申请日:

2012.06.06

申请国别(地区):

WO

年份:

2013

代理人:

摘要：

A cleaning/purifying apparatus (40) detects abnormal events generated when a plasma generating apparatus (1) is used, and controls plasma discharge on the basis of the detection results.On décrit un aAppareil de nettoyage et de purification (40) qui détecte des événements anormaux générés lorsquun dispositif de génération de plasma (1) est utilisé, et qui commande une décharge de plasma selon le résultat de la détection.洗浄浄化装置40は、プラズマ発生装置1の使用時に発生する非正常事象を検知し、その検知結果に基づいてプラズマ放電を制御する。

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/