A method for energy setting of pulsed focusing laser radiation is provided. In this method, a relationship between threshold pulse energy and pulse duration required to cause irreversible damage to the material is established. The relationship allows obtaining a threshold pulse energy for each of a plurality of pulse durations including one or more pulse durations in the range between 200 fs and less. The relationship defines a decreasing threshold pulse energy for a decreasing pulse duration in the range between 200 fs and less. For a given pulse duration in the range between 200 fs and less, the associated threshold pulse energy is determined based on the established relationship. The pulse energy of the laser radiation is set based on the determined associated threshold pulse energy. In a particular embodiment, the relationship substantially represents a decrease in threshold pulse energy as a function of the cube root of the pulse duration.펄스형 집속 레이저 방사선의 에너지 설정을 위한 방법이 제공된다. 상기 방법에 있어서, 물질에 비가역적인 손상을 야기하는데 필요한 문턱 펄스 에너지와 펄스 지속시간 사이의 관계가 확립된다. 상기 관계는 200 fs와 그 미만 사이의 범위의 하나 이상의 펄스 지속시간을 포함하는 복수의 펄스 지속시간 각각에 대한 문턱 펄스 에너지를 얻는 것을 허용한다. 상기 관계는 200 fs와 그 미만 사이의 범위에서 감소하는 펄스 지속시간에 대해 감소하는 문턱 펄스 에너지를 규정한다. 200 fs와 그 미만 사이의 범위의 주어진 펄스 지속시간에 대해, 확립된 관계에 기초하여 연관된 문턱 펄스 에너지가 결정된다. 결정된 연관 문턱 펄스 에너지에 기초하여 레이저 방사선의 펄스 에너지가 설정된다. 특정 실시예에서, 상기 관계는 실질적으로 펄스 지속시간의 세제곱근의 함수로서 문턱 펄스 에너지의 감소를 나타낸다.
