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相干层析系统及其参考波前校正方法、装置及设备
- 专利权人:
- 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 发明人:
- 安其昌,刘欣悦,张景旭,李洪文
- 申请号：
- CN202010530583.4
- 公开号：
- CN111543959A
- 申请日:
- 2020.06.11
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明公开了一种光学相干层析成像系统，包括光源、干涉仪和光电探测器，还包括控温装置，干涉仪中的参考臂包括球面反射镜；其中，球面反射镜背面贴合设置胶垫；胶垫背离球面反射镜的表面均匀设置有多个加热片；各个加热片和控温装置相连接；控温装置用于根据光电探测器采集到的干涉条纹对比度控制各个加热片加热，球面反射镜受热形变，以使光电探测器探测到的干涉条纹对比度达到预定对比度。本申请中参考臂采用球面反射镜，可直接对入射的球面波反射，且背面设置加热片使得球面反射镜面形可以改变，对入射的光波进行补偿校正，提高干涉条纹对比度。本申请还提供了光学相干层析成像系统的参考波前校正方法、装置以及设备，具有上述有益效果。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
