A flow control apparatus includes a pressure regulator fluidly coupled to an inlet region and an outlet region and configured to reduce a pressure from a first value in the inlet region to a second value in the outlet region, where the second value is lower than the first value； and a variable area orifice disposed between the outlet region and an outlet opening of the apparatus, wherein a flow rate of a gas is controlled by the variable area orifice and is discharged from the apparatus to a gas supply line. A free area of the variable area orifice that is disposed between a movable element and a surface of the variable area orifice is configured to change linearly in response to a translation of the movable element relative to the surface.Un appareil de régulation de débit comprend un régulateur de pression accouplé de manière fluidique à une région d'entrée et à une région de sortie et configuré pour réduire une pression à partir d'une première valeur dans la région d'entrée à une seconde valeur dans la région de sortie, la seconde valeur étant inférieure à la première valeur； et un orifice à zone variable disposé entre la région de sortie et une ouverture de sortie de l'appareil, un débit d'un gaz étant commandé par l'orifice à zone variable et étant évacué de l'appareil vers une ligne d'alimentation en gaz. Une zone libre de l'orifice à zone variable qui est disposée entre un élément mobile et une surface de l'orifice à zone variable est configurée pour changer linéairement en réponse à une translation de l'élément mobile par rapport à la surface.
